MEMS乙醇?xì)怏w傳感器是一款采用在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料，并可檢測空氣中乙醇?xì)怏w濃度的氣體檢測儀器。MEMS乙醇?xì)怏w傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板，對(duì)乙醇?xì)怏w的靈敏度高，殼體堅(jiān)固，抗震性好，使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與乙醇?xì)怏w濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。該乙醇傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短等特點(diǎn)，表面體積比高可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/p>
MEMS乙醇?xì)怏w傳感器是一款采用在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料，并可檢測空氣中乙醇?xì)怏w濃度的氣體檢測儀器。MEMS乙醇?xì)怏w傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板，對(duì)乙醇?xì)怏w的靈敏度高，殼體堅(jiān)固，抗震性好，使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與乙醇?xì)怏w濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。該乙醇傳感器具有體積小、諧振頻率高、功耗低、響應(yīng)時(shí)間短等特點(diǎn)，表面體積比高可以提高表面?zhèn)鞲衅鞯拿舾谐潭取?/p>
檢測氣體：乙醇
乙醇檢測范圍：0-500ppm
回路電壓Vc：≤24V DC
加熱電壓VH：2.5V土0.1V AVorDC
負(fù)載電阻RL：可調(diào)
加熱電阻RH：800+200 (室溫)
加熱功耗PH：≤80mW
敏感體電阻Rs：1KQ~30KQ
靈敏度S：RO/RS≥2
濃度斜率a：≤0.9
溫度：20°C士2°C
濕度：55%RH士5%RH
標(biāo)準(zhǔn)測試電路：VH:2. 8V士0.1V VC:5.0V士0.1V
